光催化氧化法是目前研究较多的一项氧化技术。所谓光催化反应，_是在光的作用下进行的化学反应。光化学反应需要分子吸收特定波长的电磁辐射，受激产生分子激发态，然后会发生化学反应生成新的物质，或者变成引发热反应的中间化学产物。光化学反应的活化能来源于光子的能量，在太阳能的利用中光电转化以及光化学转化一直是_活跃的研究领域。 光催化氧化技术利用光激发氧化将O2、H2O2等氧化剂与光辐射相结合。所用光主要为紫外光，包括uv-H2O2、uv-O2等工艺，可以用于处理污水中CCl4、多氯联苯等难降解物质。另外，在有紫外光的Fenton体系中，紫外光与铁离子之间存在着协同效应，使H2O2分解产生羟基自由基的速率大大加快，促进有机物的氧化去除。

光氧催化废气处理设备应用在炼油厂、橡胶厂、皮革厂、印刷厂、化工厂、中西药厂、金属铸造厂、塑料_厂、餐饮业技术适用范围牛皮纸浆、炼油、炼焦、石化、煤气、粪便处理、制药、合成树酯、合成纤维、橡胶、氮肥、硝酸、炼焦、粪便处理、肉类加工、水产加工、食品配料、香精、畜产品加工、皮革、骨胶、油漆、溶剂、油墨印刷、垃圾处理、医药等行业 .